Nhà máy sơn phún xạ Ni PVD, Hệ thống mạ kim loại chân không Cr, Thiết bị mạ chân không Sn / Ag, Nhà máy mạ đồng
Cấu trúc thiết bị:
Máy RTAC1215-SP là loại octcal, bao gồm máy bơm chân không, buồng chân không gắn 8 cực âm hồ quang, 1 nguồn ion tuyến tính, 2 bộ cực âm phún xạ DC và 1 cặp cực âm phún xạ MF.Nguồn ion, mặt bích gắn catốt phún xạ được chuẩn hóa có thể được trao đổi linh hoạt dựa trên nhu cầu thực tế của quá trình sơn phủ.
Các ứng dụng:
1. Ngành công nghiệp DPC cho các bộ phận làm kín bằng gốm, quy trình DPC, hệ thống phún xạ PVD bằng đồng, chip gốm LED với lớp mạ Cooper, Al2O3, Bảng mạch gốm AlN, Tấm Al2O3 trên đèn LED, Chất bán dẫn
2. Màng kim loại Bạc, Ni, Chrome, Vàng, Nhôm, In, Sn, v.v. và TiN, TiAlN, TiC, TiO, CrC, CrCN, CrN, v.v.
Thuận lợi:
1. Sản xuất hiệu quả về chi phí
2. Nhân bản hóa trạm làm việc (thiết kế công thái học của trạm làm việc, giảm thiểu không gian, tiếng ồn và nguy cơ tai nạn)
3. Năng suất chất lượng cao.
4. Bám dính mạnh mẽ với thiết bị tăng nhiệt mạnh mẽ và làm sạch nguồn plasma;
5. Thiết kế nhỏ gọn và dễ dàng tiếp cận để nâng cấp và bảo trì.
6. Hoàn toàn tự động hóa, PLC + Màn hình cảm ứng, hệ thống điều khiển một chạm.
7. Hiệu quả cao với mức tiêu thụ điện năng ít hơn, tối đa.Tiết kiệm 50% chi phí sản xuất.
Thông số kỹ thuật:
1. Áp suất chân không cuối cùng: tốt hơn 9.0 * 10-5Bố ơi;
3. Thời gian bơm xuống: từ atm đến 1,0 × 10-3Pa≤15 phút (nhiệt độ phòng, buồng khô, sạch và trống)
4. Nguồn lắng đọng: cực âm phún xạ Gencoa magnetron, cực âm hồ quang có hướng, nguồn ion
5. Mô hình hoạt động: Hoàn toàn tự động / Bán tự động / Thủ công
6. Sưởi ấm: từ nhiệt độ phòng lên đến tối đa.500 ℃,
9. Nguồn ion cho quá trình PECVD và PA PVD.
Máy sơn chân không có chứa hệ thống hoàn chỉnh chính được liệt kê dưới đây:
1. Buồng chân không
1.1 Kích thước: Đường kính bên trong: 1200mm
Chiều cao bên trong: 1500mm
1.2 Chất liệu: Buồng chân không SUS304
Cửa và mặt bích SUS304
Kết cấu phòng tăng cường: Thép nhẹ SS41, được sơn xử lý bề mặt hoàn thiện.
Khung buồng SS41 bằng thép nhẹ được sơn xử lý bề mặt hoàn thiện.
1.3 Tấm chắn buồng: SUS304
1.4 Cửa sổ nhìn ra: 2 cửa trên
1.5 Van thông gió buồng chân không (bao gồm cả bộ giảm thanh)
1.6 Cửa: Vật liệu SUS304
2. Hệ thống bơm chân không gia công thô:
Bơm chân không cánh quay dầu + Bơm giữ
Bơm phân tử treo từ tính - 2 bộ
4. Hệ thống điều khiển và vận hành điện- Màn hình cảm ứng PLC + Hệ thống hoạt động:
Các nhà cung cấp:
PLC: Màn hình cảm ứng Mitsubishi + (Sản xuất tại Trung Quốc)
Linh kiện điện tử: SCHNEIDER, OMRON.
Hệ thống bảo vệ an toàn:Nhiều khóa liên động an toàn để bảo vệ người vận hành và thiết bị (nước, khí hiện tại, nhiệt độ, v.v.)
Hệ thống quy trình sơn: Điều khiển & Tự động hóa Quy trình.
4.1 Mạch chính: Công tắc ngắt cầu chì, công tắc điện từ, loại C / T mắc nối tiếp
4.2 Nguồn cung cấp: Nguồn phún xạ DC / MF + Nguồn hồ quang DC + Nguồn phân cực
4.3 Hệ thống kiểm soát lắng đọng
4.4 Hệ thống hoạt động: Màn hình cảm ứng + PLC, điều khiển công thức và ghi dữ liệu, Tự động tắt máy, tự động di tản, tự động sơn
4.5 Hệ thống đo lường
Áp suất chân không: Máy đo chân không: Pirani + Máy đo Penning + Máy đo chân không toàn dải - Thương hiệu Châu Âu
Thiết bị đo nhiệt độ: Cặp nhiệt điện
MFC: Bộ điều khiển lưu lượng lớn (4 cách),
4.6 Hệ thống cảnh báo: Áp suất khí nén, Dòng nước làm mát, Hoạt động sai
4.7 Chỉ báo tải điện: Chỉ báo điện áp và chỉ báo dòng tải
5.Hệ thống lắng đọng
5.1 Nguồn lắng đọng: Cực âm phún xạ + Nguồn hồ quang + Nguồn ion
5.2 Vật liệu lắng đọng: Đồng, Nhôm, Chrome, Bạc, Vàng, SS, Titan, v.v.
6.Hệ thống con
6.1 Hệ thống điều khiển van nén khí
6.2 Hệ thống nước làm mát: Hệ thống ống dẫn nước và van chuyển đổi
Khí nén: 5 ~ 8kg / cm2
Nước làm mát: Nhiệt độ nước vào: 20 ~ 25 ℃, 200 lít / phút,
Áp suất nước vào: 2 ~ 3 kg / cm2,
Công suất: 3 pha 380V 50Hz (60Hz), 130kVA, công suất tiêu thụ trung bình: 60KW
Khu vực lắp đặt: (L * W * H) 4400 * 3200 * 2950mm
Exhaust: Thông gió cho máy bơm cơ khí
Vui lòng liên hệ với chúng tôi để biết thêm thông số kỹ thuật, Công nghệ Hoàng Gia hỗ trợ bạn các giải pháp phủ tổng thể.